静電容量式変位センサ

静電容量式の原理を用いた、非常に高精度なセンサです。
対象物の材料を問わず測定できますが、特に金属の場合はゼロ点調整のみで非常に安定したナノレベル測定を行えます。また、センサヘッドの耐熱性や真空環境下への適応性も高いため、半導体分野での多数の導入実績を持ちます。
Capaシリーズはメーカー調整にてさらに向上させる、あるいは測定範囲を拡大するといったカスタマイズが可能です。こういったカスタマイズを施した製品であっても、センサヘッドの破損時にはユーザーサイドでの表面研磨、あるいは交換のみでご使用頂けます。

多機能・超高性能モデル

capa6500

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capaNCDT 6500は多チャンネル同時計測が可能なモジュール設計のコントローラです。
プリアンプを介し、最大8chのセンサを復調器に接続できます。
DL6530はプリアンプをコントローラ内に統合(内蔵)しており、最大4mのケーブル長まで可能です。
ケーブル長が4mを超える場合は、外部プリアンプCP6001またはCPM6011と共にコントローラDL6510を使用します。

モジュール式 多チャンネルモデル

capa6200

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capaNCDT6200は手頃な価格で、優れた性能を発揮する革新的な測定システムを搭載した新機種です。
このモジュール設計は4チャンネルまで簡単に増設することができます。
測定システムは、制御装置とセンサヘッドを接続する復調器から構成されます。
イーサネットインターフェースにより、Webブラウザを介し、迅速かつ容易に設定を行うことができます。また、復調器DL6230は高分解測定を可能にします。コンパクトなコントローラはベンチトップユニットとして使用することができ、DINレールに取り付けることが可能です。
また、すべてのcapaNCDTセンサヘッドが使用可能です。

超小型単チャンネルモデル

capa6110

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単チャンネル仕様のcapaNCDT6110は超小型コントローラでローコストな静電容量式変位センサです。
マイクロエプシロン社製のすべての静電容量センサを使用できます。
コンパクトに設計され高性能な為、優れたアナログ測定を行うことができます。
また、丈夫で使いやすいので、OEM用にも単チャンネル用にも最適です。
コントローラのデザインは堅牢でシンプルに設計されており、ユーザは測定範囲とセンサケーブルの長さを選定するだけで、センサを数多く必要とするアプリケーションにも容易に対応が可能です。
9~36Vの電源仕様のため、モバイルアプリケーションにも使用可能です。また、出力は0~10Vまたは±5Vから選択可能です。capaNCDT6110は手頃な価格で、一般的な測定に最適です。