共焦点光学式センサ

三角測量式とは異なり、白色LED光源を用いて測定対象物表面に結像する光の波長を検出し、変位を測定します。そのため従来のセンサでは測定が難しかった鏡面体や透明体を得意としています。
他にも、測定スポット径が極小で一定、測定対象物を選ばない、高分解能、直接反射光を計測するため影ができない等、他のセンサにはない特徴を揃えています。また、センサ1台で積層された透明体各部の厚みを計測することも可能です。

高精度モデル

IFD2451/2471

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IFD2451・2471は、共焦点光学式の原理を用いた超高精度変位計です。
特に透明体と鏡面体の測定に対して有効であり、レイヤー構造の透明体各部の厚みをセンサーシステム1台で測定する事が出来ます。
内径・内部形状測定や超高分解能による表面検査など、センサヘッドを交換するだけで幅広い用途に適合します。また、LED光源を基に応答性を最大70kHzまで向上しております。