ナノステージ移動量計測

キーワード	ナノステージ、変位計測
測定目的	ナノステージの移動量を計測する
概要	ナノステージ上に部品をのせ、稼動させたときのステージの動きと部品の動きの検証用として、Capa6500をご採用頂きました。 Capa6500シリーズのもつ、「0.0375nm」という高い分解能により、高精度な計測が可能となりました。

■使用センサ
コントローラ：Capa6500
センサヘッド：CS05