ウェハー搬送用ロボットの衝突検知

キーワード	衝突検出、振動、ロボット、半導体、ウェハー、安全
測定目的	搬送用ロボットの安全及び破損防止
概要	ウェハーの搬送用ロボットに検出ヘッドを取り付け、制御異常時の衝突を確認し緊急停止をかける。

■使用センサ
コントローラ：SKシリーズ
センサヘッド：KHシリーズ