ウェハー搬送用ロボットの衝突検知

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キーワード 衝突検出、振動、ロボット、半導体、ウェハー、安全
測定目的 搬送用ロボットの安全及び破損防止
概要 ウェハーの搬送用ロボットに検出ヘッドを取り付け、制御異常時の衝突を確認し緊急停止をかける。

採用製品

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■使用センサ
コントローラ:SK-500
センサヘッド:KH-314

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