白色光干渉式変位センサ

分光干渉原理を用いた変位計で、非常に高精度な測定が可能です。スポット径が小さいため、小型部品の測定に向いています。測定対象物の材質に関わらず測定でき、透明体であれば片側からセンサ1本で厚み測定が可能です。共焦点光学式センサと比較し、設置距離が長いため、離れた位置から計測できます。

ナノレベルでの距離・厚み測定

距離測定：IMS5400-DS/5600-DS、厚み測定：5400-TH

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新たな超高精度変位計が弊社ラインナップに加わりました。分光干渉原理を用いた変位計であり、エントリーモデルのIMS5400-DS、pmレベルの分解能を誇るIMS5600-DS、片側での透明体厚み測定が可能なIMS5600-THの3機種を用意しております。測定範囲が最大2.1mmあるので、変化量の大きい対象物も高精度に測定が可能です。温度安定性に優れ、パッシブ冷却を備えているので、安定した測定結果を提供します。イーサネットやEtherCAT、RS422、アナログ出力、同期入力、エンコーダ入力等、様々な入出力に対応しています。
IMS5600シリーズでは標準品にてセンサヘッドを真空環境下アプリケーションでもご使用できます。WEBブラウザベースにて簡単に設定ができ、ソフトウェアのインストールも必要ございません。